日本EBARA JITSUGYO:开发出新型无水银臭氧监测仪

日本EBARA JITSUGYO:开发新型无水银臭氧监测仪的通知

日本EBARA JITSUGYO开发了环保的无水银臭氧监测仪。

1.产品名称

EG-3100系列(面向上下水道设施的高精度臭氧监视器)

EG-690(半导体制造工艺用直排型臭氧监视器)

2.概要

日本EBARA JITSUGYO的臭氧监测仪是利用紫外线吸收法精密测量气体中和水中臭氧浓度的测量仪器。

到现在为止一直使用水银灯作为紫外线的光源。

此次开发的新型臭氧监测仪是针对社会对环境的关注，采用UV-LED光源中采用实现无水银。另外，通过修正发光特性的技术，UV-LED光源很难实现使被认为是诗的高精度的测定成为可能。

日本EBARA JITSUGYO作为日本臭氧测定技术的先驱者，对于臭氧的合理利用是必不可少的。

另外，有预处理系统和臭氧监测仪，可以根据不同的条件进行准确的测量。

负责配套臭氧浓度测量设备的开发、设计、制造、维护。利用涉及的领域很多，特别是上下水道设施的高级处理工艺和半导体工厂的生产工艺中常年采用，拥有日本国内很大的市场占有率。

此次开发的新产品是根据社会对环境的关注，采用UV-LED光源，实现了无水银。另外，通过修正发光特性的技术，UV-LED实现了光源难以实现的高精度测量，使用了传统的水银灯具有与臭氧监测同等的精度。

1、高精度臭氧监视器:eg -3100系列

·采用UV-LED光源实现无水银化

·发光修正技术实现了与低压水银灯产品同等的精度

·囊括净水过程臭氧处理中的所有气体测量点的生产线

·高精度、高分辨率，可适用于研究和开发用途

2、轮滑型臭氧监视器:eg -690

·采用UV-LED光源实现无水银化

·发光修正技术实现了与低压水银灯产品同等的精度

·可在半导体制造工艺的臭氧气体管道中单排设置

·适合装置组装