气体敏感半导体传感器的优势
气体敏感半导体 (GSS) 技术是将智能测量技术应用于专有加热金属氧化物半导体 (HMOS) 气体传感器。这项技术是 Aeroqual 独有的，大多数测试过Aeroqual 的 GSS 臭氧传感器的独立专家都认为该传感器是同类中好的低浓度臭氧测量 - 特别是在 1 到 100 ppb 范围内。这些 GSS 传感器始终能够像臭氧分析仪一样运行，而臭氧分析仪的价格是其价格的 10 倍。
Aeroqual在加热金属氧化物传感器方面的专业知识可以追溯到 1980 年代英国哈维尔原子能研究中心的科学家在大卫威廉姆斯教授的带领下所做的基础工作。1990 年代中期，David 继续在伦敦大学学院建立了一个卓越的气体传感器研究中心，新西兰人 Geoff Henshaw 博士也加入了该中心。2000 年，这两个人凭借对 HMOS 气体传感科学的深入了解，共同创立了 Aeroqual。
HMOS 传感器基于某些金属氧化物在目标气体存在时电阻会发生变化的特性。这种电阻变化是由表面氧物质通过与目标气体反应的损失或增加引起的。表面氧物质在材料中充当电子陷阱态，因此它们的浓度控制了材料的电阻率。如果氧化物为 n 型，CO 等还原性气体会导致表面氧损失、导带电子增加和电阻降低。氧化性气体如 O3 会导致相反的行为。对于 p 型金属氧化物，对目标气体的电阻变化与 n 型相反。气体浓度和电阻变化之间存在明确的关系，这导致目标气体浓度的测量。由于导致金属氧化物电阻变化的气体反应发生在表面，因此表面积和孔隙率等材料参数对整体气体敏感性有影响。
为了针对特定气体优化 GSS 传感器，需要控制许多元素：
金属氧化物传感层的组成
传感层的微观结构、厚度、表面积和孔隙率
传感器工作温度和流量
传感器封装材料和设计
询问电压
控制软件和算法
线性化和校准过程
需要掌握以上所有内容才能达到 很高水平。这解释了为什么许多制造 HMOS 传感器的公司难以与 Aeroqual 的 GSS 传感器展示的性能相匹敌。
