Teledyne API470溶解臭氧分析仪（0-150mg/L）
470是先进的溶解臭氧测量模块，为半导体湿法处理和许多其他工业过程设计。它能够提供去离子水或硫酸中浓度高达150mg/L的溶解臭氧测量。470已完成预备清洁，能够满足高纯度半导体过程的需求，并且可简单的直接拼接进任何湿法处理的环流回路中， 很高支持150 SLPM的流量。
470型传感器使用双路取样传感技术，达到了无与伦比的性能，且摆脱了对参比液体测量的需求。
通常的安装仅仅包括470传感器和特氟龙7包裹的内部连接电缆。470传感器能够通过模拟或数字信号向湿法处理过程控制台远程报告测量的浓度。
特点
现场检测
在线且全流量监测
直线通过的流型
无移动部件
无消耗品
测量范围 很高达150 mg/L
远程零点校准
高精度紫外吸收法
双光道采样感应技术
不需求日常维护
半导体级别湿式材料
紧凑的特氟龙外壳
特氟龙7包裹的内部连接电缆
规格
测量原理：紫外线吸收，双光路样品感测技术
紫外线光源：低压汞灯
测量单位：ppmw，毫克/升
量程：高达150 mg / L（150 ppmw）
精度：0.5 mg / L或读数的1％（以较大值为准）
水流量： 很高150 SLPM
采样端口：1英寸，3/4英寸，1/2英寸Flaretek接头
很大压力：55磅/平方英寸
接触材料：铁氟龙，蓝宝石，与半导体工艺兼容
外壳 ：PTFE铁氟龙
尺寸：144 x 171 x 82毫米
维护：每24个月更换一次紫外线灯。没有其他预定的维护。
电缆：铁氟龙护套
电源：+15伏直流
模拟量输出：4至20 mA或0至5 VDC，出厂配置
数字量I / O：RS232或RS485，出厂配置
远程较零：通过DB15进行远程零位校准
应用
液态溶解臭氧
半导体湿法清洗系统
超纯水系统
制药业
水处理
其他工业过程
